小編帶你快速走進精密位移平臺技術(shù)百科

添加時間：2020-6-9 8:38:19 作者：浙江金科機械傳動有限公司

1.精密位移平臺基本定義
近年來，隨著微電子技術(shù)，宇航，生物工程等學(xué)科的迅速發(fā)展，正式進入了“亞微米-納米”時代。在電子，光學(xué)，機械制造等眾多技術(shù)領(lǐng)域中，迫切需要高精度，高分辨率，高可靠性的微定位系統(tǒng)，用以直接工作或配合其他儀器設(shè)備完成高精度的研究和使用。微定位技術(shù)在微機電系統(tǒng)，納米制造技術(shù)，微電子及納米電子技術(shù)，納米生物工程等眾多高科技領(lǐng)域?qū)l(fā)揮越來越重要的作用。
微納米加工技術(shù)的發(fā)展,離不開精密工作臺技術(shù)的發(fā)展與進步。所有納米操作及超級精密制造的研究及應(yīng)用領(lǐng)域的進一步發(fā)展，都需要依靠高精度的定位平臺和更高的控制精度。精密工作臺是集精密位置檢測技術(shù)、驅(qū)動技術(shù)、直線導(dǎo)向技術(shù)、控制技術(shù)等多項技術(shù)為一體的有機綜合體。


2.精密位移平臺分類
精密位移工作臺系統(tǒng)包括微位移機構(gòu)，檢測系統(tǒng)，控制系統(tǒng)三部分，微位移機構(gòu)由微位移器和導(dǎo)軌組成。按其形式可分為以下五類：
（1）平行彈性導(dǎo)軌，機械式，電磁、壓電或電致伸縮微位移器驅(qū)動。
（2）柔性支承，壓電或電致伸縮微位移器驅(qū)動。
（3）滾動導(dǎo)軌，壓電或電致伸縮微位移器驅(qū)動。
（4）滑動導(dǎo)軌，機械式驅(qū)動。
（5）氣浮導(dǎo)軌，伺服電機或直線電機驅(qū)動。