基于二維精密微調(diào)平臺的設(shè)計分析

添加時間：2016-7-5 7:03:58 作者：浙江金科機(jī)械傳動有限公司

隨著納米技術(shù)的興起和飛速發(fā)展,基于壓電陶瓷驅(qū)動的納米級微定位技術(shù)已成為能束加工、超精密加工、微操作系統(tǒng)等前沿技術(shù)的基礎(chǔ)支持技術(shù)。以柔性鉸鏈為傳動機(jī)構(gòu)的微動工作臺具有結(jié)構(gòu)緊湊,質(zhì)量輕,傳動無間隙,無機(jī)械摩擦,位移分辨率高等特點(diǎn)。壓電陶瓷驅(qū)動器(pzt)具有體積小,分辨率高,承載能力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。使用pzt控制簡單,易實現(xiàn)亞微米甚至納米級的精度,且不產(chǎn)生熱量和噪聲,已被廣泛用于要求具有納米級定位分辨率的技術(shù)領(lǐng)域。本文以雙柔性平行四桿為基礎(chǔ),通過參數(shù)化分析求出對工作臺固有頻率影響較大的參數(shù),并計算出其變化趨勢。從理論和實驗兩方面對工作臺固有頻率特性進(jìn)行研究,并從微動臺整個系統(tǒng)出發(fā),考慮精密微調(diào)平臺的設(shè)計,提出一種新的設(shè)計方法,為設(shè)計具有高分辨率的精密微調(diào)平臺提供了理論和實驗依據(jù)。
1 精密微調(diào)平臺（www.zhangyuhudong.cn）的結(jié)構(gòu)
精密微調(diào)平臺（www.zhangyuhudong.cn）采用平面一體式結(jié)構(gòu),由一塊不銹鋼板經(jīng)由線切割而成,具有結(jié)構(gòu)緊湊,無間隙,無摩擦,各部分熱膨脹系數(shù)相等的優(yōu)點(diǎn)。如果加工和裝配完全對稱,微動工作臺便能產(chǎn)生嚴(yán)格的直線運(yùn)動,從原理上克服了交叉耦合位移現(xiàn)象。
2 精密微調(diào)平臺（www.zhangyuhudong.cn）的設(shè)計分析