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精密位移平臺的結(jié)構(gòu)
轉(zhuǎn)動平通過四個對稱設(shè)置的平行柔性鉸鏈與基座7相連。當兩個驅(qū)動器的進給位移相等時，轉(zhuǎn)動平臺將繞平臺的中心轉(zhuǎn)動
精密位移平臺數(shù)學(xué)建模
工作行程、分辨率、精度、固有頻率是精密定位平臺的主要性能指標[8]。在以柔性鉸鏈為傳動機構(gòu)的微動平臺的設(shè)計中，柔性鉸鏈的設(shè)計尤為重要。因此，本設(shè)計對精密定位機構(gòu)進行了剛度、固有頻率和強度分析，在此基礎(chǔ)上對機構(gòu)進行了設(shè)計，所選的材料是彈性較好的65Mn。其相關(guān)參數(shù)如下：屈服強度：σs=785MPa；彈性模量：E=210GPa；密度： ρ=7.9×103kg/m3 ；泊松比：μ=0.3
精密位移平臺的剛度分析
本設(shè)計中，采用了Btrain D. Jensen, Larry L. Howell提出的Small-length flexural pivot 型柔性鉸。平臺可簡化為一個剛體通過4個對稱柔性鉸鏈與支架相連的模型。
精密位移平臺的強度分析
在微動平臺的設(shè)計中，不但要保證平臺的剛度和固有頻率條件，也要保證平臺的強度。一般允許應(yīng)力為材料屈服強度的10%左右。
精密位移平臺的優(yōu)化設(shè)計
為了獲得較大的行程，所以應(yīng)當在保證平臺的固有頻率和強度的條件下，盡可能降低平臺的剛度。以a和t為優(yōu)化變量
